Beschichtungsanlagen

Unter Beschichtungsanlagen versteht man i. a. das technische Equipment zur Beschichtung von Teilen mittels verschiedenster Verfahren. Im vakuumtechnischen Sinn besteht dieses Equipment aus einem Vakuumbehälter (Rezipient, Vakuumkammer), einem Pumpsatz mit Vakuumventilen, entsprechender Vakuummeßtechnik, Einrichtungen zur Substratreinigung und einer oder mehreren Einrichtungen zum Verdampfen oder Sputtern (Zerstäuben) von Metallen oder anderen Substanzen besteht, aus einer Aufnahme für die zu beschichtenden Teile (Substrate), die starr oder rotierend sich über den Verdampfern befindet sowie häufig aus einer Gaseinlaßeinrichtung, die die Möglichkeit der reaktiven Beschichtung bzw. der Substratreinigung bietet.
Vakuum-Beschichtungsanlagen werden in den verschiedensten Größen gefertig und sind insbesondere in der Optik, Halbleiterindustrie, Materialprüfung Elektronenmikroskopie und der funktionellen Beschichtung (EMV-Schutz, Reflektoren, dekorative Anwendungen) wichtige techologische Einrichtungen.