Laborbeschichtungsanlagen

Laborbeschichtungsanlagen sind spezielle Vakuum- beschichtungsanlagen, die im Gegensatz zu Produktionsanlagen verschiedenste Möglichkeiten der Vakuumbeschichtung zulassen. Diese Anlagen sind nicht für einen hohen Teiledurchsatz konzipiert und meist so ausgestat- tet, daß entweder verschiedene Quellen zur Abscheidung (Widerstands-, Elektronenstrahl-Verdampfen, Sputtern) bestimmter Materialien eingebaut sind oder eine Auf- oder Umrüstung auf andere Quellen, Substrataufnahmen und Zusatzeinrichtungen wie Substratheizungen, Substratbewegungseinrichtungen o.ä. relativ schnell erfolgen kann. Die Steuerung der Vakuumanlage ist auf diese Möglichkeiten vorbereitet. Laborbeschichtungsanlagen werden oft zur Beschichtung von Materialproben, Kontaktherstellung, Materialuntersuchung, Anwendung zur Elektronenmikroskopie und Herstellung unterschiedlichster Schichten mit verschiedenen Schichteigenschaften genutzt.