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Aktuelle Sonderangebote finden Sie hier.


Wir entwickeln, fertigen und liefern für Sie:

  • Vakuum - Beschichtungsanlagen für Sputter-, thermische, Elektronenstrahl- und andere Beschichtungsverfahren für den Labor-, Forschungs- und Fertigungsbereich
  • SPS-Steuerungen einschließlich Visualisierung für Beschichtungsanlagen
  • komplette Pumpstände für allgemeine und Sonderanwendungen, z.B. Elektronenmikroskopie, Ausbildung etc.
  • Rezipienten und andere vakuumtechnische Komponenten als Sonderanfertigungen
  • Spezialflansche
  • abriebfreie Rotationsantriebe für Planeten-, Kalotten und Palettensysteme, Substrat-Rotationseinrichtungen
  • Kassetten-Quarzstrahlerheizungen mit Edelstahlreflektor und Temperaturregler
  • LN2 - Meißnerfallen

Wir liefern weiterhin:

  • gebrauchte Beschichtungsanlagen, die wir nach Ihren Vorstellungen auf- oder umrüsten (Rezipientengrößen von 100-900 mm)
  • Vakuumventile bis NW 400*, Komponenten, Verbindungselemente, Durchführungen, Wellschläuche, Flansche und Sonderverbindungen
  • Vakuummeßtechnik
  • Vakuumpumpen einschließlich Zubehör, Treibmittel und Öle
  • Schichtdickenmonitore einschließlich rateregelnder Systeme
  • Meßquarze für XTC- und MSV-Schichtdickenmeßgeräte
  • komplette Pumpsysteme für allgemeine und spezielle Anwendungen
  • Elektronenstrahl-Verdampfungseinrichtungen und Zubehör*
  • Sputtersysteme einschließlich Quellen, DC- und HF-Supplies*
  • Wasserrückkühlanlagen und Wassererwärmungsgeräte zur Rezipientenkonfektionierung*

*im Rahmen von Neuanlagen, Um- und Aufrüstungen




 
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