Pumpstände

Vakuumpumpstände sind Einrichtungen, die entweder aus einer oder mehrerer Vakuum- Pumpen, Rohrleitungen, Meßeinrichtungen und Ventile, montiert in einem Gestell, bestehen. Diese Pumpstände können zur Erzeugung von Vakua für entsprechende Vakuumkammern benutzt werden, wenn das bereitgestellte Saugvermögen den Anforderungen an das zu evakuierende Volumen, die geforderte Evakuierungszeit und den erforderlichen Arbeitsdruck entspricht. Für größere Vakuumkammern von Beschichtungsanlagen werden sie für den Einsatzfall speziell ausgelegt. Kompakt-Pumpstände werden für Grob-, Fein-, und Hochvakuumanwendungen gefertigt und sind i.d.R. für das Evakuieren kleinerer Volumina konzipiert. Als Beispiel dafür haben Turbomolekularpumpstände weite Verbreitung gefunden, die je nach Nennweite von DN63ISO-K bis DN100ISO-K Saugvermögen von 70-350l/s aufweisen. Sie bestehen i.d.R. aus Turbomolekularpumpe, aus trockenlaufender oder ölgedichteter Vorvakuumpumpe, Vakuum-Meßeinrichtung, Controller und Montagerahmen.