Anlagen- und Pumpstandssteuerungen

Anlagensteuerungen und Pumpstandssteuerungen realisieren alle für den Betrieb einer Vakuumbeschichtungsanlage oder eines Pumpstandes erforderlichen Schalthandlungen. Handbetrieb (für Laborbeschichtungsanlagen) und/oder vollautomatischer Betrieb mit Rezepturen für Produktionsanlagen unter Berücksichtigung aller vakuumseitiger Verriegelungen und Sicherheitseinrichtungen sind Varianten für Steuerungen von Vakuumbeschichtungsanlagen.

Im Automatikbetrieb werden sowohl der Pumpstand als auch die technologischen Zusatzeinrichtungen der Anlage (Verdampfer, Schichtdickenmeßeinrichtung, Blenden, Heizungen, Kühlwasserkreise, Generatoren, Substratrotationseinrichtungen etc.) so gesteuert, daß eine Schicht oder ein Schichtsystem ohne manuelle Schalthandlungen während des Prozesses hergestellt werden kann. Die Steuerungen werden meist über eine SPS mit Bedienterminal oder PC-Steuerung realisiert. Pumpstandssteuerungen beschränken sich i.A. auf das Betreiben der im Pumpstand enthaltenen Pumpen, Ventile und Meßeinrichtungen unter Beachtung der notwendigen Verriegelungen und werden von verschiedenen Herstellern als kompakte Controller für ihre Pumpstände angboten.