Vakuumlecksuche

Unter Vakuumlecksuche versteht man die Prüfung der in einer Vakuumanlage eingebauten Vakuumbehälter (Rezipienten), Rohrleitungen, Flanschverbindungen, Meßeinrichtungen u.a. auf Dichtheit des Systems.
In einem System zulässige Leckraten müssen spezifiziert werden und sind vom jeweiligen Einsatzfall abhängig. Lecksuchmethoden sind die Vakuumlecksuche oder Überdrucklecksuche mit geeigneten Geräten (Heliumlecksucher) oder die Methode der Messung des Druckanstiegs in einer Vakuumkammer.
In der praktischen Vakuumtechnik wird häufig die lokale Helium-Leckprüfung angewandt, bei der ein ausgepumptes (evakuiertes) Bauteil oder eine Vakuumanlage mit einem Heliumlecksucher verbunden ist und mit Helium abgesprüht wird. Im Lecksucher erfolgt die Detektion des in das Bauteil oder die Anlage einströmenden Heliums.

Für die Messung der integralen Leckrate (Gesamtleckrate des zu prüfenden Bauteils) wird das evakuierte Bauteil mit einer Hülle (z. Bsp. Plastetüte) mit Heliumatmosphäre umhüllt. Das in das Bauteil aufgrund von Undichtigkeiten eindringende Helium wird vom Lecksucher detektiert.
Beim Überdruckverfahren wird das zu prüfende Bauteil mit Heliumdruck beaufschlagt. Das austretende Helium wird dann mit dem Heliumlecksucher detektiert.