Vakuumpumpen

Um eine Vakuumkammer (Vakuumbehälter, Rezipient) zu evakuieren, werden eine oder mehrere Vakuumpumpen benötigt. Je nach Funktionsprinzip unterscheidet man zwischen Pumpen, die Gas von der Kammer nach außen befördern oder die das Restgas an den Innenflächen der Pumpen binden.
Nach dem ersten Prinzip arbeiten z. Bsp. Drehschieber-, Roots-, Turbo- und Diffusions-pumpen, nach dem zweiten Ionengetter-, Adsorptions- Sublimations- und Krypumpen.
Ein entscheidendes Kriterium zur Beurteilung des Einsatzes einer Pumpe an einer Vakuumanlage sind das Saugvermögen in l/s bzw. m³/h bzw. die Saugleistung (Durchsatz) in mbar x l/s. Zum Evakuieren eines Vakuumbehälters kommt je nach Volumen eine Kombination mehrerer Vakuumpumpen zum Einsatz.