Vakuumventile

Vakuumventile sind Komponenten der Vakuumtechnik, welche die Aufgabe haben, bestimmte Volumina einer Vakuumanlage, einer Beschichtungsanlage, eines Pumpstandes etc. abzusperren oder zu öffnen. Vakuumventile wie auch Rohrleitungen haben einen bestimmten Leitwert, der in Verbindung mit einer Vakuumpumpe immer zu einer Reduzierung des effektiven Saugvermögens führt.
Vakuumventile gibt es in verschiedenen Ausführungen und für verschiedene Einsatzfälle, z. Bsp. Eckventile, Durchgangsventile (Schieberventile), Regelventile, Gaseinlaßventile, Belüftunsventile, UHV-Ventile. Als Material kommen je nach Einsatz Edelstahl- und Aluminium für die Gehäuse infrage,
als Dichtungsmaterialien fungieren NBR (für den Vorvakuumbereich) Viton und Silikon (für den Hochvakuumbereich und höhere Temperaturen).