Vakuumtechnik

Vakuumtechnik ist ein allgemeiner Begriff sowohl für Prozesse, die sich im Vakuum, d. h. in einem ausgepumpten Raum, in dem der Druck gegenüber dem Atmosphärendruck vermindert ist, abspielen. Vakuumtechnik bezeichnet auch die technischen Einrichtungen die zum Erzeugen, Aufrechterhalten, Absperren und Messen des Vakuums dienen. 
Zu den Prozessen der Vakuumtechnik zählen u.a. die Vakuumbeschichtung mit den Widerstands-, Elektronenstrahl- und Sputterverfahren, die Vakuum-Metallurgie und die Gefriertrocknung.
Zu den Vakuumerzeugern zählen u.a. Drehschieberpumpen, Öldiffusionspumpen, Turbomolekularpumpen, Kryopumpen, Membranpumpen und Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen). 
Zur Vakuummesstechnik gehören u.a. Totaldruckmeßgeräte wie Wärmeleitvakuummeter (Pirani), Kaltkatodenvakuummeter (Penning) oder Heißkatoden- Vakuumeter (Bayard-Alpert) und zu den Partialdruckmeßgeräten gehören die Massenspektrometer.
Zur Absperrung evakuierter Räume dienen Vakuumventile.